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真空镀膜机扩散泵如何维修和保养

来源:www.astonpride.com发表时间:2021-05-18

真空镀膜机扩散泵如何维修和保养:
    扩散泵是一种高真空获得设备,极限在-5pa级泵,抽速大,效率高,能够忙速抽气,一般应用在真空镀高,抽速要求大的设备上,是真空镀膜机一个重要部件,真空镀膜机采用扩散泵抽真空,大部分都是大型设备,那么相对来说,成本会比较高,因此,大部分商家都非常重视真空镀膜机扩散泵的维护和保养,下面汇成真空小编为大家详细介绍一下扩散泵如何维护和保养:
真空镀膜机
第一:扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
第二:扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
第三:被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
第四:扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
第五:扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丙酮进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
第六:待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
第七:在重新开真空镀膜机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度,同时检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。






  

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