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真空镀膜机扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵的维护保养

来源:www.astonpride.com发表时间:2021-04-22

   大家都知道,真空镀膜机维护保养的好不好,直接影响到其使用寿命和突发状况产生,一般真空镀膜机成本较高,便宜点的镀膜机都是几十万起步,贵地几百万的都有,因此镀膜厂家都格外重视真空镀膜机的保养和维护.
    扩散长时间在高温环境工作,扩散泵油会与氧气发生反应,而且扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其品质下降,从而导致抽气时间变长,所以需更定期更换扩散泵油。建议6个月更换一次。
更换扩散泵方法:拆下扩散泵将油放出,拆出泵芯,可用汽油将泵壳及泵芯清洗,泵芯留下油迹,应用0#砂布擦干,再用汽油清洗。全部清洗干净后,用布抹干,然后烘干。
换扩散泵油注意事项:
    在真空度低于1×102Pa时严禁对扩散泵进行加热及在加热状态下对扩散泵充入大气及拆卸,否则,会引发因扩散泵内高温状态的油与空气中的氧气接触产生氧化燃烧反应,压力升高而压开精抽阀,造成大门炸开后伤害人的危险,所以在加热和更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1×102Pa,扩散泵里面的油温是否彻底冷却到常温状态后,方可进行加热或充大气进行拆卸,否则会产生伤害人的严重后果。
真空镀膜机罗茨泵、旋片泵、维持泵的维护保养方法:
    1、定期检查期间请进行适当的保养。维修间隔因使用用途不同而有差异。检查间隔:初次使用为每日一次;无问题的话,从次周开始为每周一次,以后可以设定为每月一次。
    2、真空泵油不仅会受到抽排气体的污染,泵运转时温度上升,也会造成油劣化。请确认油污染程度、粘性,定期进行油的更换。建议3-6个月更换一次。
    3、建议每年做一次检修。

  

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